牛津儀器業(yè)務(wù)主要分為納米分析設(shè)備、工業(yè)分析設(shè)備和服務(wù)三大部分，其產(chǎn)品包括沉積與刻蝕設(shè)備、光學(xué)成像設(shè)備、低溫系統(tǒng)、電子顯微鏡、核磁共振設(shè)備等，可用于半導(dǎo)體、微電子、量子科技、光子學(xué)、鋰電池、能源生產(chǎn)與儲(chǔ)存等領(lǐng)域。

此前，牛津儀器曾與臺(tái)工研院多次達(dá)成合作，在HBLED、MEMS、Micro LED、硅光子學(xué)、奈米分析等領(lǐng)域獲得豐富成果。

據(jù)悉，原子層沉積（Atomic layer deposition)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層鍍?cè)诨妆砻娴姆椒?。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處，該技術(shù)目前主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和納米技術(shù)領(lǐng)域。

在第14屆國(guó)際氮化物半導(dǎo)體會(huì)議 (ICNS 2023) 上，眾多專家講者強(qiáng)調(diào)了等離子原子層沉積技術(shù)在防護(hù)Micro LED生產(chǎn)損傷方面的優(yōu)勢(shì)，并證明了等離子體原子層沉積技術(shù)可顯著提高M(jìn)icro LED芯片的外部量子效率，因此原子層沉積技術(shù)是未來(lái)微型光發(fā)射器發(fā)展的關(guān)鍵。

牛津儀器表示，公司的低損傷等離子原子層沉積技術(shù)獲得了市場(chǎng)關(guān)注。公司的等離子 ALD高K鈍化解決方案，針對(duì)具有較小活性區(qū)域的Micro LED微芯片進(jìn)行了優(yōu)化，并且方案可將Micro LED外部量子效率翻倍。投產(chǎn)當(dāng)天，粒量科技全自動(dòng)化生產(chǎn)線已全面啟動(dòng)，正開足馬力抓緊生產(chǎn)、全力趕制訂單。據(jù)了解，該項(xiàng)目投產(chǎn)后預(yù)計(jì)今年可新增產(chǎn)值3億元，全部投產(chǎn)后可新增產(chǎn)值7億元，年納稅額達(dá)5000萬(wàn)元。

資料顯示，坐落于福建省安溪縣高端裝備制造產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi)，廠區(qū)建筑面積6萬(wàn)平方米，注冊(cè)資本2億元人民幣。公司在LED芯片、封裝、應(yīng)用等測(cè)試全產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)域擁有超過十五年的實(shí)際操作經(jīng)驗(yàn)，還擁有先進(jìn)水平的Mini/Micro LED封裝產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備。

粒量科技副總經(jīng)理謝劍平表示，公司的產(chǎn)品主要應(yīng)用于私人影院、廣告屏、指揮中心等高檔應(yīng)用場(chǎng)景。公司的產(chǎn)品遠(yuǎn)銷國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)，目前已受到廣大客戶的認(rèn)同，公司目前也接到大量客戶的訂單，正在加緊生產(chǎn)。